表面形貌测量相关论文
半导体加工技术是半导体产业发展的基础,其制造水平将直接影响半导体产品的关键性能参数,因此需要发展与当前加工精度相匹配的检测......
表面形貌是评价物体表面质量的重要因素,表面粗糙度是表现表面形貌的重要参数,表面粗糙度的检测广泛用于工业零部件的加工制造过程......
随着超精密加工技术的发展,越来越多的高集成度的微器件被制造出来。为了保证质量,需要对这些器件的阶高、线宽和表面形貌等特征尺......
基于条纹投射和正弦相位调制技术，提出了一种用于测量物体表面三维形貌信息的光纤干涉系统。通过杨氏双孔结构实现了条纹投射，并以余......
随着结合光、计算机、电子的高精密仪器细微化、自动化、功能广、一体化方向的不断更替,对现代化精密制造检测领域的质量要求越来......
飞秒激光作为本世纪最受关注的技术之一,为精密测量领域时空分辨力的提升提供了突破性的新方法和新技术。这主要体现在两个方面:（1）......
介绍了一种硅V型槽表面形貌测量的可视化方法,分析了谱域OCT的测量原理。利用谱域OCT实验测量系统进行了硅V型槽的成像实验,得到了......
结合超精密制造技术,讨论了轮廓仪测量大曲率半径表面形貌存在的精度缺陷。提出了利用NIKONAutocollimator 6D自准直仪辅助Form Ta......
该文就SPM的理论进行了深入的研究和分析,对SPM的基本结构以及每个环节进行了详细的总结,并从SPM的理论出发,在以前的激光力显微镜......
该文叙述了在线运动表面形貌测量技术在部分膜弹流润滑(PEHL)下的动态磨损研究的重要性,通过分析比较各种现有的接触和非接触测量......
本文论述了一种新型的无衍射光—无衍射结构光。这种新型光束不仅具有传统无衍射光的特点,且光斑为线性结构。它为表面形貌测量提......
本文提出用一种新型的无衍射光—无衍射结构光作为入射光进行物体表面形貌的三角测量。这种新型光束不仅具有传统无衍射光的特点,......
产品的小型化和精密化,使得人们对表面轮廓形貌测量的要求日益迫切。共聚焦显微技术有效地解决了高分辨率、非接触式测量的问题,能......
触针表面形貌测量仪是生产科研中应用广泛的仪器,杠杆式触针由于其结构原因,在测量时会产生非线性误差,影响测量结果的精度。介绍......
分析研究现有表面形貌测量仪器的测量控制系统的优缺点,提出一种基于CPLD的高速、高可靠性、低成本的PCI总线测量控制系统实现方案......
简要介绍了原子力显微镜的工作原理,着重分析了液相探头的设计,并利用该探头进行了液相环境的样品表面形貌测量,给出了测量的图像.......
介绍了一种新型的基于垂直扫描的精密三维工作台,由一个自带计量系统的二维工作台和一个垂直扫描工作台组成.当测量工件时,闭环控......
本文全面地总结了应用于表面形貌测量中的各种几何光探针方法，概述了这些方法的原理、特性及发展现状，并对各种方法的优越性及存在问......
针对已有测量方法不能同时实现材料表面形貌的三维定量无损测量的不足,提出了一种基于调制电流式扫描离子电导显微镜（SICM）的表面形......
为了实现光刻胶表面形貌的广域、高精度测量，对新一代测量理论及测量方法进行了研究。首先分析了被测物件的特性，根据其柔软、透明的......
提出一种基于图形处理器(GPU)的快速傅里叶变换算法和并行处理算法,给出了傅里叶变换分析法的GPU并行实现流程,通过对各像素点进行......
表面形貌对组件的功能方面起着非常重要的作用。随着科学技术的发展和精密加工要求的提高,表面形貌测量技术也越来越为大家所重视,......
在多光刀准全场三维轮廓测量系统中 ,从受噪声影响的多光刀图像中准确提取出光刀中心是提高测量精度的关键。由于采用重心法进行光......
表面形貌的测量方法通常可分接触式和非接触式两种,这两种方法在许多方面具有互补性且各自有自己的应用领域,因此有必要将两种测量......
本文提出一种采用二维朗奇光栅测量物体表面三维形貌的方法及装置,用一块二维朗奇光栅可同时获取被测表面在两正交方向上的梯度信......
针对相移干涉法测量表面三维形貌时深度测量范围受波长限制这一问题,提出一种四波长表面形貌干涉测量系统。通过滤波片的轮换,将白......
研制了基于同一显微镜基体实现原子力探针扫描测量与非接触光学测量两种功能的复合型超精密表面形貌测量仪。分析了基于白光显微干......
用光学显微干涉法进行表面形貌测量时其深度测量范围的扩大和形貌测量精度的提高是一对矛盾。为此,本文设计出了一种基于波长轮换......
孔轴类零件的应用在国民生产和生活的过程中起着至关重要的作用，而孔类零件的检测比轴类零件的检测难度要大些。孔的检测目前大多采......
为了测量被测物面的微观特征量及这些特征量间的关系,提出基于数字微镜器件(DMD)的跨尺度测量方法,研究针对DMD的控制方法及基于DM......
研制了一种基于动态聚焦探测法的新型光针式三维表面形貌测量仪，该仪器可实现表面三维形貌的快速、无损、非接触测量。介绍了该仪器......
开发了一种大量程、高分辨率、非接触式与接触式测量两用的新型表面形貌测量仪器。仪器本体为非接触测量轮廓仪，通过插入接触式测头......
介绍了一种基于垂直扫描白光干涉法的6JA干涉显微镜改造的总体方案、系统测量原理、仪器结构,以及对标准样板及圆柱零件的测试结果......
制件表面微观形貌和结构质量与其功能特性密切相关。表面形貌测量,对表面质量及其功能特性保证具有重要意义。白光干涉表面形貌测......
为了实现对金刚石砂轮表面形貌的非接触精密测量,开发了基于干涉原理的金刚石砂轮表面形貌专用测量系统,研究了该系统的测量原理和......
随着机械工业、半导体工业和生物技术的发展，超精密加工、纳米技术、微机电系统、活体细胞工程等都对微纳尺度的三维表面形貌测量提......
砂轮是一种被广泛应用于磨削加工的工具，其表面形貌参数不仅影响其切削加工性能还决定了工件表面的加工质量。如果可以得到砂轮的三......
为满足超精密表面形貌测量对工作台的大量程、超精密和三维扫描的要求,设计了一种新型三维精密工作台。工作台由自带计量系统的二......
机械加工精度的提高和零件的小型化,以及微电路、微光学等微表面的不断应用,迫切需要高精度的表面形貌测量技术。目前应用较为普遍......
物体表面的质量将直接影响到其使用功能特性，也是评定加工工艺好坏的重要依据，同时机械加工技术、光学技术和微电子技术的发展对于表......
介绍了一种新型的基于垂直扫描的精密三维工作台,它由一个自带计量系统的二维工作台和一个垂直扫描工作台组成。垂直扫描工作台放......
随着科学研究和先进制造技术的发展，满足各种不同功能需求的多样化表面不断出现，从统计性形貌特征表面发展到结构性表面，从简单几何表......
